采用磁增强反应离子刻蚀（ＭＥＲＩＥ）工艺获得了铁电ＰｂＺｒ０５３Ｔｉ０４７Ｏ３（ＰＺＴ）薄膜的微细图形．研究了用ＣＨＦ３ 气体在不同射频功率和气体流量下ＰＺＴ薄膜、Ｐｔ和ＡＺ１４５０Ｊ光刻胶的刻蚀速率以......

文章应用热分析方法，对ＰｂＺｒ０．５２Ｔｉ０．４８Ｏ３粉料在四种有机溶剂稀薄气氛中的吸附特性进行实验研究、发现这种粉料在２００～５５０℃对乙醇或丙酮显示物理态可逆性吸附......