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应用材料公司拓展RFPVD技术实现22纳米晶体管触点制造
近日,应用材料公司拓展了其Applied Endura Avenir RF PVD系统的应用组合,实现了镍铂合金(NiPt)的沉积,将晶体管触点的制造扩展至2......
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应用材料公司
RFPVD
纳米晶体
晶体管
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铂合金
应用组合
触点
纳米
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