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1.3μm应变补偿多量子阱SLD台面制作工艺的研究
台面制作工艺对1.3μm应变补偿多量子阱SLD的器件性能有重要的影响。根据外延结构,分析比较了两种台面制作的方法,即选择性湿法腐蚀......
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