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建立了ＳＭＡ薄膜／基片的耦合数学模型，对溅射在基片上的ＳＭＡ薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟，结果表明ＳＭＡ薄膜／基片的耦合驱动是双金属效应和形状......
使用模具并采用磁控溅射法在铁电陶瓷PZT基体上沉积具有条形分布结构的NiTiSMA薄膜。显微组织结构观察发现，以条形分布结构方式沉积......
