SU-8光胶相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

SU-8光胶相关论文

355nm激光曝光SU-8胶的XPS谱和FT—IR谱研究

SU-8光胶因具有良好的光刻性能，并可获得稳定的高深宽比而在微加工领域得到了广泛的应用。众多研究采用不同的光源对其进行了多种光......

期刊

MEMS SU-8光胶 XPS谱 KF—IR谱 MEMS SU - 8 photoresist XPS spectrum FT- IR spectrum

用微电铸方法制作微流控芯片镍基阳模的研究

高聚物微流控芯片以其材料的价格较低、材料多样、适用范围广、制作简单适于大批量生产、样品试剂消耗少、可根据生化分析的需要进......

学位

有机聚合物材料微芯片 SU-8光胶微电铸电解抛光

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