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SiCN结晶膜相关论文

微波等离子体化学气相沉积制备SiCN结晶膜及SiCN微米棒阵列

本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统,以CH4, H2, N2作为源气体,以Si棒作为Si源,在Si衬底上制备出了SiCN结晶及SiCN微米......

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微波等离子体化学气相沉积制备 SiCN结晶膜 SiCN微米棒 CH4 H2 N2 氰化硅甲烷氢气氮气 silicon carbon nitride mi

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