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微波等离子体化学气相沉积制备SiCN结晶膜及SiCN微米棒阵列
本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统,以CH4, H2, N2作为源气体,以Si棒作为Si源,在Si衬底上制备出了SiCN结晶及SiCN微米......
期刊
微波等离子体化学气相沉积
制备
SiCN结晶膜
SiCN微米棒
CH4
H2
N2
氰化硅
甲烷
氢气
氮气
silicon carbon nitride mi
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