Si掺杂Sb2Te3薄膜相关硕士博士期刊学术论文

Si掺杂Sb2Te3薄膜相关论文

采用磁控三靶(Si,Sb及Te)共溅射法制备了Si掺杂Sb2Te3薄膜,作为对比,制备了Ge2Sb2Te5和Sb2Te3薄膜,并且采用微加工工艺制备了单元......

期刊