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透明导电薄膜ZnO:Al的制备、组织结构及光电特性研究
该文采有直流磁控反应溅射技术,合金靶成分为Zn:Al(0.8wt﹪~2.6wt﹪),制备了综合性能优良的ZAO薄膜.实验中详细研究了各种沉积参数:氧......
学位
透明导电薄膜
可见光区透射率
红外光区反射率
导电机制
禁带宽度
Sn(ITO)
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