Stepper相关论文
Ｓｔｅｐｐｅｒ领域的欧洲劲旅———ＡＳＭＬ公司荷兰的ＡＳＭＬ光刻设备公司，创建于１９８４年，其前身为最早（１９７３年）在世界上设计、开发了第一台片子步进机（Ｓｔｅｐｐｅｒ）雏形的荷兰Ｐｈｉｌｉｐｓ公司。它是......
先进的亚微米Stepper技术指标一览表@童志义
Advanced submicron Stepper technical indicators list @ Tong Zhiyi......
在92年12月2～4日于日本举办的“Semicon/Japan’92”展览会上,日本NIKON和Canon两家公司分别推出了采用变形照明光源的新型片子步......
步进式变形监测仪器具有长期测量、测值稳定、可靠性高、测试原理简单、适用范围广等优点，在中国的大坝安全监测领域得到了广泛应用......
This paper presents a fuzzy control algorithm applied to the position control of a multi-axis motion platform to achieve......
你有过水上漫步的经历吗？当然，这里并非是说武侠小说里像神话的轻功，也不是到处都可以见到的船，而SeaJogger水上步行机。利用它的stepp......
目前看来，Ｘ射线光刻技术能否真正到０．１３μｍ及０．１３μｍ以下的集成电路工业中去晃刻技术工作者很关心的一个问题，分别从光源、曝光系统、掩模、光 ......
介绍了０．８～１．０μｍ分步重复投影光刻机双光路光栅衍射同轴对准系统的构成及原理，详细讨论了对准数据的软件处理和计算方法，并给出实际测试结果......
阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程。着重介绍图像处理技术在高精度对准系统中的应用。并讨论系统应用中的图像处......
目的研究椭圆形截面吊臂折弯时折弯间隙和折弯步进的关系。方法构建了一组吊臂折弯间隙、步进及折弯刀数的计算公式。结果结果表明......
介绍了一种基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统,讨论了其检测和控制原理。介绍了调焦调平系统的光学结构,并建立起了理想的单点高度......
提出一种多网络远程控制方法,以平行四杆结构桁架为载台,基于STM32F407芯片设计步进电机驱动电路和反馈信号采集电路。通过4G网络......
针对传统衍射演示实验中操作繁杂、效率低、耗时长的问题，设计了衍射自动演示仪．该仪器应用虚拟仪器技术，将LabVIEW软件与实验硬件相......
在对普通光学显微镜进行改装的基础上，设计了一套可以通过LabVIEW程序进行控制的显微镜聚焦系统，不仅可以提高聚焦的速度与精度，还可......
介绍了双频激光干涉仪利用光的干涉和多普勒效应测距的原理以及距离的计算方法。并以此为基础介绍了双频激光干涉仪在投影光刻机工......
INTEL公司的8XC196MC 16位单片机集合了INTEL 16位单片机的所有特性,是196系列单片机中功能最强大的一种,它的波形发生器非常适合......
简述步进式伺服实验装置控制系统的设计原理,介绍一种单片机控制的伺服实验装置.为高校伺服系统课程提供了一种实用的实验教学系统......
日本产业经济新闻引述美国与印度新闻报导指出，半导体厂商得益于2004年景气回春而积极扩产，连带使得日本半导体设备大厂Nikon的步进......
介绍了PLC作主控制器、1PG作脉冲输出控制单元的刀库控制技术。采用FX2N—PLC控制定位模块1PG输出指定数量的脉冲，驱动刀库步进电机......
An instrument is developed to measure the dynamic andstatic fabric drapability by the technology of image analy-sis. A s......
本文介绍了可编程控制器（ＰＬＣ）在包装机上的应用。介绍了系统的硬件设计与软件开发。......
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