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Ti(CxN1-x)薄膜相关论文
电弧离子镀Ti(CxN1—x)薄膜的结构和力学性能研究
利用电弧离子镀设备,沉积了不同C、N比的Ti(CxN1-x)薄膜,研究了C含量对Ti(CxN1-x)薄膜的结构(相结构、择优取向及晶格常数)及力学......
期刊
电弧离子镀
Ti(CxN1-x)薄膜
结构
力学性能
研究
电弧
ion plating
electric arc
Ti(C-xN-{1-x}) coati
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