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TiWN微加工技术相关论文
电阻阵列红外景物产生器微桥结构的材料及制作研究
动态红外景物模拟系统由于能够在实验室内对红外探测系统的动态性能进行测试与评估而受到国内外的重视。该系统的关键器件是红外景......
学位
红外景物产生器
微桥结构
薄膜
应力
α-Si
SiNx
SiOx
SiOxNy
TiWN微加工技术
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