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红外景物产生器相关论文
电阻阵列红外景物产生器微桥结构的研制及仿真
为了进一步提高电阻阵列红外景物产生器的性能,设计并制作了该器件的微桥结构.利用SiOx与TiWN分别作为微桥结构的介电材料与电阻材......
期刊
红外景物产生器
微桥
微加工技术
SiOx
TiWN
infrared scene projector micro-bridge micromachinin
电阻阵列红外景物产生器微桥结构的材料及制作研究
动态红外景物模拟系统由于能够在实验室内对红外探测系统的动态性能进行测试与评估而受到国内外的重视。该系统的关键器件是红外景......
学位
红外景物产生器
微桥结构
薄膜
应力
α-Si
SiNx
SiOx
SiOxNy
TiWN微加工技术
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