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反应磁控溅射法制备nc-TiN/a-Si3N4薄膜的Young’s模量和内耗
利用振簧技术测量了不同退火状态下的nc-TiN/a-Si3N4超硬薄膜的Young's模量和内耗随温度的变化关系.在280-300℃附近观察到一......
期刊
纳米TiN/非晶Si3N4薄膜
内耗
Young’8模量
非稳定界面
nc-TiN/a-Si3N4 film
internal friction
Young
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