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提出了一种在反应离子深刻蚀中既可以加强热传递又可以抑制notching效应的方法，尤其适用于含有细长梁结构的刻蚀．通过在硅结构的下表......
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对影响电感耦合等离子(ICP)刻蚀侧壁形貌的工艺参数进行了分析,通过改变刻蚀/钝化周期、平板电极功率、钝化气体C4F8流量以及重叠......
