为了在浅沟槽隔离（STI）化学机械平坦化（CMP）过程中提高对SiO2介质层去除速率的同时保持晶圆表面一致性，研究了SiO2/CeO2混合磨料的协同......

矽肺是劳动者长期暴露于二氧化硅（SiO2）环境，SiO2粉尘经呼吸道进入并沉积于肺内，最终在肺部形成矽结节与纤维化的职业性疾病，是我国法定......

节能环保概念的日益流行,以及新能源汽车等新兴领域的迅猛进步,锂离子电池因其可再生、清洁能源和高性价比等优点,近年来受到越来......

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......

本文基于电子元器件的制造流程,深入结合后道封装中的硅通孔(Through Silicon Via)技术,选择TSV的后通孔(Via-Last)中的深孔绝缘层......

对共聚物体系而言,其最终性能不仅与其化学组成、结构有关,在很大程度上还取决于成型加工过程中凝聚态结构的形成与变化。通常,流......

采用改进的Stober法,以正硅酸乙酯(TEOS)为硅源,乙醇为溶剂,氨水为催化剂制备出单分散性好、粒径大小可控的纳米二氧化硅颗粒,并通......