...

重点分析了硅基ＳｉＯＮ光波导的工艺制作途径及其有关性能。根据有关实验结果，讨论了工艺中存在的问题，最后给出了它的应用。......

通过与热生长氧化物进行比较 ,对LPCVD氧化物及N2 O氮化LPCVD氧化物的质量和可靠性进行了高场应力实验研究 .发现LPCVD氧化物有比......

可调谐光衰减器是基于WDM技术的全光网络中最基本的光器件之一,是实现全光交换的瓶颈技术之一。目前市场上传统的可调式光衰减器是......

先进技术微通道板（Advanced Technology Microchannel Plates，AT-MCP）是美国伽利略公司90年代中期提出的一种全新的微通道板制作技术......

利用ISSG低压退火法来取代传统的氧气退火法,对沉积后的隧穿氧化薄膜进行退火处理.由于其独特的可控补偿氧化生长机制,最终在晶圆......

描述了LPCVD多晶硅的常见缺陷及其分类。对缺陷产生的原因进行了分析，找出工艺设置和工艺操作过程容易出现的问题；并针对各类缺陷，提......