凸出环相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

凸出环相关论文

掩膜板凸出环隔离压缩式纳米压印施压气体的研究

在半导体微纳加工技术中,纳米压印由于具备低成本、高产出、超高分辨率等诸多优势而备受研究者和半导体厂商的青睐,有望成为下一代......

期刊

纳米压印膜板介质流光刻技术毛细液桥凸出环毛细力抗蚀剂压缩式半导体厂商

基于气体压缩式施压的纳米压印研究

随着大规模集成电路的推进和发展,集成度要求越来越高,特征尺寸急剧减小。伴随着特征尺寸不断减小的要求,传统光学光刻的分辨率受......

学位

纳米压印气体压缩式施压凸出环静电斥力脱模

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