半导体扩散炉相关论文
本文以微型计算机在半导体扩散炉控制中的应用为例，对上位机监控软件的通讯和组成模块进行了探讨，并使之能与半导体扩散炉组实现高效......
针对半导体扩散炉温度控制问题,提出神经网络控制方法.神经网络采用3-3-3结构.仿真表明,此控制方法是可行的,具有良好的控制品质.......
针对半导体扩散炉温度控制融合问题,提出了3-9-3结构的BF神经网络控制方法.建模表明：BF网络数学模型具有良好的控制品质和实用、高......
