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基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究
进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳......
期刊
NEMS
压阻敏感器
纳机电探针
数据存储
硅基集成纳机电探针技术的研究
面向下一代超高密度信息存储技术,本论文致力于研究一种新型的一维纳机电探针器件,该器件采用微电阻加热写入和压阻敏感读取技术,并利......
学位
纳电子机械系统
纳机电探针
高密度存储
压阻敏感器
电热针尖
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