原子层沉积温度窗口相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

原子层沉积温度窗口相关论文

一元金属氧化物的原子层沉积及性质研究

近年来,原子层沉积技术由于具有精确控制薄膜厚度、台阶覆盖性极好、大面积生长薄膜均匀性非常好、生长温度较低等优点,受到研究人......

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原子层沉积氧化铋氧化钛氧化铝吸附动力学沉积速率生长机制前驱体薄膜漏电机制电阻率光学性质原子层沉积温度窗口晶体结构朗缪尔模型

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