双极板静电换能器相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

双极板静电换能器相关论文

梳状谐振器的F—I类比宏模型及SPICE分析

分析了双极板静电换能器在小信号激励下极板水平运动的情况,推导了适合于F-I类比的机电关系表达式.由于SPICE中没有对应此关系式的......

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梳状谐振器 F—I类比宏模型 SPICE分析 MEMS 双极板静电换能器 comb resonator FI analogy SPICE macromo

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