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反向刻蚀相关论文
薄水层下低损伤激光划切技术研究
单晶硅属于半导体脆性材料,广泛用于微电子行业,传统的机械加工难以满足目前的市场需求,而单纯的激光加工往往会出现大量的热累积......
学位
薄水层辅助激光
反向刻蚀
单晶硅
凹坑损伤
预测模型
大尺寸固相颗粒电化学复合沉积工艺的关键技术
边缘效应和结瘤现象是大颗粒电化学复合沉积工艺中的突出问题.本文针对性地提出非电屏蔽和反向刻蚀两项解决措施,并通过工艺试验证......
会议
尺寸
固相颗粒
化学复合
沉积工艺
解决措施
结瘤现象
非电屏蔽
反向刻蚀
边缘效应
大颗粒
验证
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