可变矩形束相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

可变矩形束相关论文

可变矩形束电子曝光机电子束形态的精确修正

本文重点介绍利用可变矩形束电子束曝光机精确制版中间掩模板或在硅片上直写图形时,如何通过校准子程序对电子束的形态及位置进行......

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可变矩形束电子束曝光机形态旋转精度制版旋转角度精度要求光阑成型子程序掩模板扫描场状况校准位置图形拼接检测硅片

可变矩形电子束曝光机光阑形态的调整

介绍利用自行设计的检测图形，检测可变矩形束曝光机成形光阑形态，描述了成形光阑的调整方法，而成形光阑形态、位置的正确与否直接关系......

会议

可变矩形电子束曝光机光阑实验检测成形可变矩形束自行设计制作质量形态图形件和电路检测精度调整方法应用位置描述

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