各向同性腐蚀相关论文
微半球模具的三维对称性对半球谐振子的性能有着决定性的影响.提出使用热氧化工艺生长的SiO2材料作为掩膜层,以达到在使用HNA腐蚀......
本文介绍了一系列利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的试验，腐蚀液为硝酸和氢氟酸的混合溶液，添加了醋酸稀释液是为了降低反应速度。......
基于MEMS加工技术的微半球谐振陀螺在吸收了传统半球陀螺全角测量优势的同时具有体积小、质量轻、成本低以及适合批量化生产的特点......
本文简要介绍了微机电系统制作用的基本腐蚀技术，包括各向同性腐蚀，各向异性腐蚀、牺牲层腐蚀、干法腐蚀、ＨＦ阳极腐蚀等。重点介绍了为......
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