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多靶磁控溅射仪相关论文

纳米多层膜中的交变应力场与超硬效应

由两种陶瓷材料以纳米量级交替沉积形成的纳米多层膜存在硬度异常升高的超硬效应,由于其在耐磨减摩涂层上的重要应用前景而得到关......

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纳米多层膜交变应力场调制周期多靶磁控溅射仪单层膜应用前景异常升高陶瓷材料纳米量级交替沉积减摩涂层反应溅射超硬效应硬度耐磨基片法制

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