大行程纳米定位相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

大行程纳米定位相关论文

面向大行程纳米级电磁直驱定位的磁场分析和平台设计

大行程纳米级定位技术是纳米测量和制造中的关键技术,在半导体制造和器件检测装备以及工厂自动化中有着广泛的应用。针对压电陶瓷......

学位

大行程纳米定位精密运动平台曲线边永磁体阵列微分求积有限元法不对称解耦控制模型

基于双频激光干涉测量的大行程纳米定位技术及其应用研究

大行程纳米定位技术是光栅刻划机制造的核心技术,本文结合光栅刻划机的特点,对基于双频激光干涉测量的大行程纳米定位系统做了较为......

学位

大行程纳米定位光栅刻划机双频激光干涉仪 BP神经网络 PID控制器实时监测

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