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曲线边永磁体阵列相关论文
面向大行程纳米级电磁直驱定位的磁场分析和平台设计
大行程纳米级定位技术是纳米测量和制造中的关键技术,在半导体制造和器件检测装备以及工厂自动化中有着广泛的应用。针对压电陶瓷......
学位
大行程纳米定位
精密运动平台
曲线边永磁体阵列
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