开关线型MEMS移相器相关论文
微机械电子系统(MEMS)的研究深受关注。射频MEMS器件由于其尺寸小、重量轻、低损耗等优点而倍受重视,并且已经进入小批量商业生产......
射频/微波移相器做为调控电磁波相位的器件,是雷达探测、卫星通信、移动通信系统中的核心组件。与传统的移相器相比,RF MEMS移相器......
