开管扩Ga模型相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

开管扩Ga模型相关论文

Ga在SiO2／Si系下的扩散模型与分布规律

为给出受主杂质Ga通过SiO2/Si系统实现开管掺杂过程的模型描述和Si体内遵循的主要分布规律,利用二次离子质谱分析(SIMS)、薄层电阻......

期刊

开管扩Ga模型分布规律分凝效应 SiO2-Si界面 open-tube diffusion model distribution behavior se

开管扩Ga模型的初步建立

依照二次离子质谱(SIMS)、扩散电阻(SRP)和原子力显微镜(AFM)等分析手段,首次阐述了P型杂质Ga由SiO2膜的吸收输运和SiO2-Si内界面......

期刊

SiO2/Si系扩散机理运动轨迹分布规律掺杂二次离子质谱开管扩Ga模型 Ga SiQ_2/Si module of open-tube diff

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