异性腐蚀相关论文
利用各向异性腐蚀和键合工艺,提出了一种新的自停止腐蚀方法,该方法可以得到大于1μm厚的均匀硅膜,可用于微传感器研制。
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硅的各向异性腐蚀工艺是硅微机械（MEMS）体加工中的重要技术手段，利用该技术可以在MEMS器件制造中形成各种三维结构，但是这种方法在腐蚀......
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