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径流分子泵相关论文
径流分子泵在多弧离子镀膜设备的最新应用
通过对新开发问世的径流分子泵进行介绍,其独特抽气特性,为多弧离子镀的工艺优化提供了理论依据。传统多弧离子镀的抽气工艺和镀膜......
期刊
多弧离子镀
径流分子泵
镀膜工艺
抽气特性
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