微机械可变形反射镜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

微机械可变形反射镜相关论文

基于MEMS技术带透明电极可变形反射镜的研制

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自适应光学变形镜静电驱动微机械可变形反射镜微电子机械系统超薄硅膜透明电极

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