微电容传感器相关论文
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量......
微电容传感器检测电路是微电容传感器中的关键技术。由于微电容传感器的电容变化量很小,电路中的杂散电容对传感器的影响就会非常......
本文研究了一种基于微分运算原理测量微小电容式传感器的电路系统,通过理论分析和实验验证了微小电容式传感器容值与系统测量所得......
受到测量电路中元件本身性能、温度和供电电源性能等的影响,采用四相检测测量电路的微电容传感器的输出不可避免地会出现零漂,影响......
