微触觉测头相关论文
半导体、精密光学制造和微纳加工等相关领域的持续、快速发展，对微纳米尺度几何量计量提出了更高的要求。随着器件结构的微型化和复......
针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系......
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量......
针对一种MEMS三维微触觉测头，构建了基于Suss Microtec三维微定位器和PI压电陶瓷的动态测试装置，对测头的动态性能进行了表征．分别测......
将自主开发的基于MEMS工艺的微触觉测头与纳米坐标测量平台相结合,构建高性能的扫描测量平台,提高了微结构和器件扫描测量的精度和......
针对微小结构和器件对大范围、高精度的坐标测量方法和装置的需求,本论文研究了一种基于压阻检测原理的MEMS三维微触觉式测头,并基......
针对目前微纳米几何量计量中存在的高深宽比结构难以实现三维高精度测量问题，本文基于电容和压阻原理，利用微机电系统（MEMS）工艺，设计了......
