微集成相关论文
针对金刚石氮空位(NV)色心量子传感器中微波天线体积大、无法与金刚石紧密接触造成天线与金刚石位置不固定、引起传感器灵敏度低的......
采用Agent技术,开展了针对以准分子激光直写刻蚀加工为主要加工手段,以微集成机构为产品对象的桌面式微型工厂建模研究.提出了桌面......
目前,集成电路技术已发展到可以将微电子、微光学、微机械结合起来。形成一种新的复杂的多功能微系统。微系统被人们称为传统工业......
