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扫描探针显微镜传递基准相关论文

X射线干涉仪实现扫描探针显微镜样板线间距纳米测量

X射线干涉仪以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位，可以实现亚纳米精度的微位移测量。提出了将X射线干涉仪和扫描隧道显微镜结合起来......

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X射线干涉计量术纳米测量扫描探针显微镜传递基准扫描隧道显微镜。 X-ray interferometr nanometer measurement sca

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