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放电靶电流相关论文

高压耦合高功率脉冲磁控溅射的增强放电效应

等离子体源离子注入与沉积技术作为一种可生产高结合力、高致密度涂层的真空镀膜技术,具有广阔的应用前景,尤其适用于高载荷工况下......

会议

高功率脉冲磁控溅射耦合高压放电靶电流等离子体发射光谱增强放电

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期刊

高功率脉冲磁控溅射耦合高压放电靶电流等离子体发射光谱

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