氟基等离子体相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

氟基等离子体相关论文

氟基等离子体处理对高Al组分AlGaN肖特基接触反向漏电的改善

在沉积肖特基金属之前,对非掺的Al0.45Ga0.55N采用了不同时间的氟基等离子体处理,其中Al组分对应日盲波段。与未做氟基等离子体处......

期刊

Al AlGaN 高Al组分AlGaN 等离子体处理肖特基接触氟基等离子体漏电流表面态组分肖特基二极管

氟基等离子体处理对AlGaN/GaN HEMT的影响研究

近些年来，以GaN为代表的第三代半导体材料凭借其禁带宽度大、电子饱和速度高、导热性能好等优点，在高温、大功率、微波器件领域拥有......

学位

AlGaN/GaN HEMT 氟基等离子体击穿电压 LDD

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