波带片阵列光刻相关论文
随着器件特征尺寸的不断减小,传统光刻技术的加工分辨率受限于衍射极限已接近使用化技术的理论极限且成本过高。无掩模光刻技术是......
介绍了无掩模光刻技术的现状和存在的问题，并对几种常见的无掩模光刻技术进行了详细的对比分析。研究表明，扫描电子柬光刻具有极高的......
介绍了一种多光束无掩模光刻系统,该系统利用空间光调制器数字微反射镜（DMD）对405 nm的激光光束进行调制,控制波带片阵列及纳米透镜......
