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热电堆平衡相关论文
双热电堆平衡式MEMS微波功率传感器的研究
本文设计了一种新型的MEMS微波功率传感器,并进行了具体的研究,介绍了微电子机械系统的发展历史,详细研究了传统型微波功率传感器的......
学位
功率传感器
微波电路
热电堆平衡
芯片设计
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