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W-Mo复合离子掺杂VO2薄膜热滞回线的热调制现象
以单晶Si(100)为基底,采用无机溶胶–凝胶法在其表面制备W-Mo复合离子掺杂VO2薄膜。采用SEM、XRD等手段分析了薄膜的表面形貌和晶体......
期刊
二氧化钒薄膜
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热调制
vanadium dioxide film
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W
氧化物半导体气体传感器的热调制特征提取及VOCs分子识别研究
具有体积小、功耗低、灵敏度高、硅工艺兼容性好等优点的金属氧化物半导体(MOS)气体传感器已广泛地应用于军事、科研和国民经济的......
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金属氧化物半导体
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