热驱动器相关论文
通过实例研究和近期报道的文献,论述了热驱动微光学的研究进展。驱动器主要通过应用在液体和液气界面的压力来调控光学微流体,包括......
设计了一种工作在0 ~8GHz频段的热驱动式RF MEMS开关.开关利用热驱动方式实现横向金属直接接触,因此具有较好的射频性能.开关的结......
本论文设计了一种电热型永磁双稳态MEMS继电器,在对其进行了仿真模拟分析优化结构参数后根据结果开展了制备研究,并对相关性能进行了......
设计了一种工作在0~8GHz频段的热驱动式RFMEMS开关.开关利用热驱动方式实现横向金属直接接触,因此具有较好的射频性能.开关的结构层由......
设计了一种热致驱动MEMS可变电容器,其主要结构由固定于衬底的下极板和可上下活动的上极板组成;上极板由四个对称结构的热驱动器驱动......
通过实例研究和近期报道的文献,论述了热驱动微光学的研究进展。驱动器主要通过应用在液体和液气界面的压力来调控光学微流体,包括微......