碳硅氧薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

碳硅氧薄膜相关论文

溅射气压对碳硅氧薄膜透过率及光学带隙的影响

采用射频磁控溅射技术在玻璃基底和单晶硅片（100）上制备了碳硅氧（Si OC）薄膜,通过扫描电镜、X射线衍射、拉曼光谱、X射线光电子能谱及......

期刊

碳硅氧薄膜磁控溅射透过率光学带隙 silicon oxycarbide thin film magnetron sputtering transmit

磁控溅射制备具有SiOC过渡层结构的类金刚石薄膜及其结构性能的研究

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学位

类金刚石薄膜碳硅氧薄膜磁控溅射透过率光学带隙拉曼光谱摩擦磨损

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