离子束修形相关论文
采用一种仿真优化驻留时间分布和修形工艺的方法.通过在离子源出光口处添加光阑来改变离子束的束形,在MATLAB软件上模拟不同光阑尺......
离子束修形(IBF)技术成为光学零件获得超高面形必不可少的加工工艺.修形过程中采用光阑获取小的束径、稳定的去除函数是获得超高面......
由于离子束加工机床工作运动空间的限制,为了加工大型光学镜面,本文提出了一种全新光学镜面加工方法——拼接加工方法.论文首先从......
本文提出机床进给加速度求解理论公式,并在速度加工模式中引入机床动态性能以修正驻留时间。结合自研的离子束抛光机床KDIFS-500,......
为了克服传统光学镜面抛光方法的缺点,提出了应用离子束进行光学镜面修形的方法。介绍了离子束修形技术的原理和方法,并对离子束修......
期刊
离子束修形是一种高效修除镜面误差的技术,驻留时间求解算法是此技术的关键问题之一。以光学镜面计算机控制成型原理为基础,建立基......
离子束修形技术具有精度高、确定性好等优点,应用越来越广泛。介绍了离子束修形技术的原理和特点,以及国外离子束修形技术的发展历......
高精度复杂光学曲面是高分辨率空间对地光学遥感系统的核心元件,其制造精度和加工能力是制约高分光学系统研制的瓶颈技术之一。新......
研究工作主要可概括为两个部分：其一,刻蚀深度分布微调方法的理论研究和实验验证；其二,变束斑离子束修形方法的理论研究和模拟分析。......
计算机控制抛光中基于等面积增长螺旋线的加工路径具有趋于恒定的加工转速和相对较低的中心区域转速、机床运动性能要求等优势，因而......
为了解决高精度光学修形问题,进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系......
目前计算机控制抛光工艺中使用的阿基米德螺旋线路径，存在加工工件中心区域时工件转速过快的缺点。为了克服该缺点，分析了螺旋线路径......
针对小特征尺寸连续位相板中频段成分分布广、误差梯度大的面形特点,分析了离子束修形技术加工连续位相板过程中影响加工精度的几......
在空间光学、光刻物镜、惯性约束聚变及强光系统等领域的高精密光学元件制造过程中,采用基于小磨头抛光原理的修形技术,虽然能有效......
根据Sigmund溅射能量沉积理论建立了低能离子入射光学元件引起的能量扰动层厚度模型.理论推导了离子束倾斜入射时光学元件表面的束......
近年来,工业加工技术发展迅速,确定性加工在光学加工中的地位越来越高,其工艺要求对生产效率起着关键作用。现代精密光学系统对零......
同步辐射光源具有高通量、高亮度、宽频谱等独特性能,被广泛应用于众多前沿科学领域,并取得了一系列的重大科研成果。近年来随着即......
随着现代科技的不断发展,特别是装备性能的迅速提升,应用于各种领域的光学系统对关键零部件的精度要求越来越高。高精度球体类光学......
随着科学技术的发展，光学系统的性能不断提高，对成像质量有了更苛刻的要求。波前误差不可避免的存在于光学系统中，影响着系统的性能。......
研究基于螺旋扫描方式的光学镜面离子束修正方法。根据离子束去除函数的特性,将螺旋扫描加工过程简化成线性过程并建立工艺过程模......
针对光学平面镜面离子束修形工艺中,目前采用的位置加工模式额外加工时间长、精度不高的缺点,提出离子束修形工艺中的速度加工模式......
超精密加工是以追求高精度为目标的制造技术,纳米精度制造代表其发展前沿,以极大规模集成电路光刻制造、惯性约束聚变和高分对地观......
