空气压膜阻尼相关论文
本文从平板电容式微驱动器的模型出发，通过求解雷诺方程，得到了空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式。结合动力学方程，介绍了微驱动......
针对RF MEMS开关释放时间过长的问题,提出了在开关梁上设计一个上悬梁的方法,以增大开关梁所受压膜阻尼,抑制开关梁在平衡位置附近......
提出了一种具有自由悬浮敏感膜和带孔铜底板的硅微机械电容式麦克风.采用低压化学汽相淀积工艺制作而成的复合敏感膜一端固定于硅......
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本文给出了一种单芯片硅微机械电容式麦克风的结构和动态特性分析。微机械麦克风的两个电极由一个三层复合敏感膜和一个金属铜底板......
为了设计和制造适合工业化生产的微机械麦克风，给出了一种单芯片硅微机械电容式麦克风的结构和动态特性分析．微机械电容式麦克风的两......
基于扭转动力学原理，推导了用于分析静电微驱动器的驱动电压、响应时间和其它动力学参数的特性方程。对于忽略和考虑空气阻尼效应的......
