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系统研究工作相关论文
    用三氯氧磷作硅中磷扩散
    本文介绍了以POCl_3为材料源作硅中磷扩散的系统研究工作。特别是确定了实现仅受磷在硅中溶解度限制的扩散在POCl_3-O_2-N_2系统中......
    期刊
    三氯氧磷 中溶解度 片电阻 系统研究工作 临界值 炉况 硅表面 扩散过程 蒸气压 温度范围

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