纳米机械技术相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

纳米机械技术相关论文

基于硅悬臂梁的纳电子机械技术

论述了基于硅悬臂梁结构的纳电子机械系统技术.利用集成微电子批量制造技术,开发硅基的、具有纳米特征工作尺寸的纳米机械加工技术......

会议

纳米机械技术纳电子机械系统传感器悬臂梁微加工工艺谐振测试

微米／纳米技术在机械加工中的应用

本文主要介绍了微细加工技术、精密测试技术、微系统技术等微米技术和以纳米电子技术、纳米机械技术、纳米材料技术、纳米加工技术......

期刊

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