【摘 要】
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论述了基于硅悬臂梁结构的纳电子机械系统技术.利用集成微电子批量制造技术,开发硅基的、具有纳米特征工作尺寸的纳米机械加工技术,实现集成纳电子机械器件的制作.基于纳米厚度的硅悬臂梁,开发了超高灵敏度谐振型传感器和微、纳测量仪器.利用制作的十至百纳米厚度硅悬臂梁传感器,成功地测量了碳纳米管储存氢的能力和铁磁性微粒在外加磁场下作用在悬臂梁上的微力.
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所传感器国家重点联合实验室(上海) 日本东北大学风险事业实验室(仙台)
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论述了基于硅悬臂梁结构的纳电子机械系统技术.利用集成微电子批量制造技术,开发硅基的、具有纳米特征工作尺寸的纳米机械加工技术,实现集成纳电子机械器件的制作.基于纳米厚度的硅悬臂梁,开发了超高灵敏度谐振型传感器和微、纳测量仪器.利用制作的十至百纳米厚度硅悬臂梁传感器,成功地测量了碳纳米管储存氢的能力和铁磁性微粒在外加磁场下作用在悬臂梁上的微力.
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