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利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢衬底上制备厚度＞1ìm类金刚石薄膜.分别使用Ti,TiN做过渡层来研究类金刚石膜的附着力及硬......
通过大量工艺实验,镀制了改变脉冲真空电弧离子源电源参数(主回路电压,脉冲频率)、基片高度以及磁场等工艺参数的样品,选择了一种......
类金刚石(DLC)膜由于具有高硬度、低摩擦系数、耐磨性能好、热传导率高等一系列优越的综合性能，近年来引起了科学界的极大兴趣，特别......
薄膜沉积速率是影响薄膜性能的重要参数,研究它对于沉积优良的类金刚石薄膜具有重要的作用.针对脉冲真空电弧离子镀的具体工艺参数......
采用磁过滤直流电弧离子镀法在不同的CH4分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和EDX表征了薄膜的相组成和微结构,用MCMS-1摩擦磨损......
